Како функционише магнетно распршивање?
Магнетронско распршивање је метода физичког таложења паром (ПВД), класа процеса вакуумског таложења за производњу танких филмова и премаза.
Назив "магнетронско распршивање" потиче од употребе магнетних поља за контролу понашања честица наелектрисаних јона у процесу таложења магнетронским распршивањем.Процес захтева комору високог вакуума да би се створило окружење ниског притиска за распршивање.Гас који се састоји од плазме, обично гас аргон, први улази у комору.
Висок негативан напон се примењује између катоде и аноде да би се покренула јонизација инертног гаса.Позитивни јони аргона из плазме сударају се са негативно наелектрисаним циљним материјалом.Сваки судар честица високе енергије може проузроковати избацивање атома са циљне површине у вакуумско окружење и избацивање на површину супстрата.
Јако магнетно поље производи високу густину плазме ограничавањем електрона близу површине мете, повећавајући брзину таложења и спречавајући оштећење подлоге од јонског бомбардовања.Већина материјала може деловати као мета за процес распршивања пошто магнетронски систем распршивања не захтева топљење или испаравање изворног материјала.
Параметри производа
Назив производа | Чиста титанијумска мета |
Оцена | Гр1 |
Чистоћа | Више 99,7% |
Густина | 4,5 г/цм3 |
МОК | 5 комада |
Величина вруће продаје | Φ95*40мм Φ98*45мм Φ100*40мм Φ128*45мм |
Апликација | Премаз за ПВД машину |
Величина залиха | Φ98*45мм Φ100*40мм |
Друге доступне мете | молибден (Мо) Цхроме (Цр) ТиАл бакар (Цу) цирконијум (Зр) |
Апликација
■Облагање интегрисаних кола.
■Површински дисплеји равних панела и других компоненти.
■Декорација и премазивање стакла итд.
Које производе можемо произвести
■Равна мета од титанијума високе чистоће (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Стандардни навојни прикључак за једноставну инсталацију (М90, М80)
■Независна производња, приступачна цена (контрола квалитета)
Информације за наруџбу
Упити и поруџбине треба да садрже следеће информације:
■ Пречник, висина (као што је Φ100 * 40 мм).
■ Величина навоја (као што је М90 * 2 мм).
■ Количина.
■ Потреба за чистоћом.