Метода испаравања електронским снопом је врста облоге вакуумског испаравања, која користи електронске зраке да директно загреје материјал за испаравање у условима вакуума, испари материјал за испаравање и транспортује га до супстрата, и кондензује на подлози да формира танак филм. У уређају за грејање електронским снопом, загрејана супстанца се ставља у водено хлађени лончић, који може избећи реакцију између материјала за испаравање и зида лончића и утицати на квалитет филма. У уређај се може поставити више лонаца како би се постигло истовремено или одвојено испаравање и таложење различитих супстанци. Са испаравањем електронских зрака, било који материјал се може испарити.
Испаравање електронског зрака може испарити материјале високе тачке топљења. У поређењу са општим отпором загревања испаравања, има већу топлотну ефикасност, већу густину струје снопа и бржу брзину испаравања. Филм и филм од различитих оптичких материјала као што је проводно стакло.
Карактеристика испаравања електронског снопа је да неће или ретко покрити две стране циљне тродимензионалне структуре, и обично се таложи само на површини мете. Ово је разлика између испаравања електронског зрака и распршивања.
Испаравање електронских зрака се обично користи у области истраживања и индустрије полупроводника. Убрзана енергија електрона се користи да удари у материјалну мету, узрокујући да материјална мета испари и подигне се. На крају депонован на мету.
Време поста: 02.12.2022