Метода испаравања електронским снопом је врста облоге вакуумског испаравања, која користи електронске зраке да директно загреје материјал за испаравање у условима вакуума, испари материјал за испаравање и транспортује га до супстрата, и кондензује на подлози да формира танак филм.У уређају за грејање електронским снопом, загрејана супстанца се ставља у водено хлађени лончић, који може избећи реакцију између материјала за испаравање и зида лончића и утицати на квалитет филма.У уређај се може поставити више лонаца како би се постигло истовремено или одвојено испаравање и таложење различитих супстанци.Са испаравањем електронских зрака, било који материјал се може испарити.
Испаравање електронског зрака може испарити материјале високе тачке топљења.У поређењу са општим отпором загревања испаравања, има већу топлотну ефикасност, већу густину струје снопа и бржу брзину испаравања.Филм и филм од различитих оптичких материјала као што је проводно стакло.
Карактеристика испаравања електронског снопа је да неће или ретко покрити две стране циљне тродимензионалне структуре, и обично се таложи само на површини мете.Ово је разлика између испаравања електронског снопа и распршивања.
Испаравање електронских зрака се обично користи у области истраживања и индустрије полупроводника.Убрзана енергија електрона се користи да удари у материјалну мету, узрокујући да материјална мета испари и подигне се.На крају депонован на мету.
Време поста: 02.12.2022